仪器名称: 纳米材料沉积设备
| 仪器编号: 1805119S |
| 仪器型号: DMP-2850 |
| 购置日期: 2018-06-21 |
| 单价(万元): 47.058 |
| 厂家: FujiFlim Dimatix，Inc |
| 技术指标: 设备技术指标： 1. 此设备使用全球首创MEMS工艺的压电式墨盒； 2. 加热真空台面适合刚性及软性基板，可加热至60度用于材料喷印后固化； 3. 基准对位像机,可调整参数和追踪分析； 4. 喷头自动清洁功能； 5. 用户自由填充液体、轻松更换墨盒； 6. 喷嘴可加热到70度，可根据材料不同温度对应流动性设定加热温度； 7. 喷印范围：基板厚度<0.5 mm 时210*315mm ，>0.5mm 时210x260mm ； 8. 可通过旋转喷头角度来改变喷印的解析度 ； 9. 重复精度： +/- 25um ； 10. 可用喷头：1pl/10pl卡夹 , 16个喷嘴； 11. 每个喷嘴电压可独立控制，最大控制电压至40V 。 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示中心2楼超净 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：吴俊 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: MEMS工艺的压电式墨盒，加热真空台面适合刚性及软性基板，可加热至60度用于材料喷印后固化；基准对位像机,可调整参数和追踪分析；喷头自动清洁功能；用户自由填充液体、轻松更换墨盒；喷嘴可加热到70度，可根据材料不同温度对应流动性设定加热温度；喷印范围：基板厚度<0.5 mm 时210*315mm ，>0.5mm 时210x260mm；可通过旋转喷头角度来改变喷印的解析度：0~254um；重复精度： +/- 25um；可用喷头：1pl/10pl卡夹 , 16个喷嘴；每个喷嘴电压可独立控制，最大控制电压至40V。 |