仪器编号: 15019658 |
仪器型号: CVD3-8-12(6) |
购置日期: 2015-11-18 |
单价(万元): 36.00 |
厂家: 西尼特(北京)科技有限公司 |
技术指标: 1. 最高温度1200度,分三个独立控制的温区; 2. 真空度达到10-5Pa; 3. 6路质量流量计控制气路; 4. 真空泵系统采用无油涡轮分子泵和无油机械泵; |
仪器介绍: |
存放位置:显示中心101室 |
保管单位:集成电路学院 |
管理负责人:陈静 |
共享: 不可用 |
预约须知: |
收费参考标准: |
主要功能: 高质量石墨烯材料的制备; 高质量硅纳米线的制备; |