仪器名称: 高真空CVD系统
| 仪器编号: 15019659 |
| 仪器型号: CVD3-8-12(8) |
| 购置日期: 2015-11-18 |
| 单价(万元): 38.80 |
| 厂家: 西尼特（北京）科技有限公司 |
| 技术指标: 1. 最高温度1200度，分三个独立控制的温区； 2. 真空度达到10-5Pa； 3. 8路质量流量计控制气路； 4. 真空泵系统采用无油涡轮分子泵和无油机械泵； |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示中心101室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：陈静 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 纳米光电晶体管、传感器、光电探测器、纳米太阳能电池等多种电子/光电子器件的制备。 |