东南大学贵重精密仪器共享系统

主要技术指标： 1.印刷银线宽精度：<50 微米； 带有光学对准装置，对准精度： ±50 um以内； 带有自动清洗系统； 印刷范围：200 mm 宽度； 可加热的且配有真空吸附功能的基台； 计算机系统控制； 加热功能,温度范围从室温至100 度； 2.最小膜厚：< 50 nm； 膜厚控制精度： ±10% 以内； 带有自动清洗功能； 印刷范围：200 mm 宽度； 可加热的且配有真空吸附功能的基台，适应柔性基材，加热温度范围从室温至100 度； 3.位移精度：100 um； 由计算机系统程序控制传输速度、张力； 提供至少5步工艺模块集成的位置； 集成衬底电晕与溶剂清洗功能； 4.定位精度：1mm； 压力与温度控制功能； 5.湿度：<20%； 洁净度：好于10000级； 温度：25 度； 可以提供干燥空气和氮气保护的功能； 6．激光波长： 能量输出范围： 能量输出可调精度： 刻蚀孔径精度：< 100 um； 重复精度：±5 um； 定位精度：±5 um；