仪器名称: 微阵列绘图仪
| 仪器编号: 15001605 |
| 仪器型号: GIX Desktop |
| 购置日期: 2015-02-17 |
| 单价(万元): 34.4144 |
| 厂家: Sonoplot |
| 技术指标: 1．线宽：20微米 2．最小沉积体积：1.8pL 3．不规则度：10% 4．黏度：450cP 5．可写规格：点阵，线，圆弧，折线，三维结构 6．速度：大于15mm/s 7．XY轴定位精度：20微米 8．三轴高精度定位，移动范围为：38 x 29 x 5 cm 9．集成的光学反馈系统 10．集成了表面高度跟踪校准设备的压电陶瓷控制的释放器 11．高性能实时CCD监控系统 12．提供10um光阑高精度释放组件和10um玻璃微释放器以及20um光阑高精度释放组件和20um玻璃微释放器 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：南高院一楼工艺间 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：黄见秋 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 利用纳米材料喷涂、成型，构成微结构模型，用于传感器分析实验。实现多种微型传感器功能材料和传感器微结构的研制、性能分析。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |