东南大学贵重精密仪器共享系统

2：系统总体要求： 2.1 要求系统具备4个能分辨到0.1fA的SMU单元； 2.2 要求系统具备一个C-V测试单元； 3．系统SMU单元技术要求： 3.1 数量为4个；SMU的电流测量范围为0.1fA-100mA；精度10fA； 3.2 SMU单元其他通用技术指标：最大电压源为210V，电压源设定最小分辨率(Force Resolution)5μV；是完全保护的四线测量结构；配备相应的三同轴电缆线； 4．系统C-V单元技术要求： 4.1 频率范围：1KHz-5MHz； 4.2 频率精度：±0.1%； 4.3 偏置电压：至少达到±60V 4.4 系统具备C-V参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数。 4.5包含C-V和I-V测量间自动切换模块：可实现C-V和I-V测量间自动切换，不会影响测量精度。