仪器名称: 微波探针台
| 仪器编号: 13001783 |
| 仪器型号: PM5 |
| 购置日期: 2013-03-18 |
| 单价(万元): 50.9748 |
| 厂家: Cascade |
| 技术指标: 1、工作频率：50GHz；2、芯片尺寸：6英寸直径；3、托台平整度：<10um； 4、分辨率：5um；5、移动范围：155mm*155mm；6、Z方向高度调整范围：10mm；7、微波探针数：4个；8、直流探针数：4个。 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：东南院103室 |
| 保管单位：电子科学与工程学院 |
| 管理负责人：韩磊 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 功能：配合矢量网络分析仪，用于芯片上的有源和无源微波器件S参数的测量。 用途：微波探针台需要配合矢量网络分析仪对芯片上的微波电路和器件进行测量和表征，并能够提供直流偏置和输出信号的提取，主要用于片上微波有源电路、片上微波无源电路、片上天线和片上RF MEMS器件性能的表征。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |