仪器名称: 箱式真空镀膜机
| 仪器编号: 11012621 |
| 仪器型号: ZZS500-3/G |
| 购置日期: 2011-11-04 |
| 单价(万元): 39.50 |
| 厂家: 成都南光机械有限公司 |
| 技术指标: 极限真空度:×10－5Pa 恢复真空时间:气至3×10－3 Pa≤15min 真空: 在真室达到极限真空度后，关闭高真空阀一小时后，真空室真空度≤5×10－1Pa 有手动和程序自动两种模式 配美国INFICON公司SQC310型石英晶体监控仪（单探头），可进行电子束蒸发速率控制，坩埚转位控制，档板自动开关等 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示中心103室 |
| 保管单位：电子科学与工程学院 |
| 管理负责人：陈静 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: 用SiO2、TiO2、MgO等材料镀膜，所用材料自行准备，并在预约中说明。有特殊要求及周末需要提前电话联系陈静老师：18914719824。 |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 介质薄膜等 |