东南大学贵重精密仪器共享系统

一、真空指标 极限真空度：≤8x10-5 Pa； 系统真空检漏漏率：≤7.0x10-7 Pa.l/S； 系统从大气开始抽气，50分钟可达到6.6x10-4 Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤6 Pa； 工作真空度：1～103 Pa； 系统包括反应室、加热台、气路系统、安装机台、真空抽气系统及电控系统等； 二、真空反应室组件 1套 真空室尺寸Ф500mm x320mm，电动上掀盖结构，上盖具有水冷结构，中间壳体采用双层夹壁水冷结构，选用不锈钢材料制造，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； 三、加热台组件 1套 1) 基片尺寸：Ф100mm； 2) 基片加热最高温度 400°C； 3) 基片可以加负偏压-300V； 四、 气路系统 1套 1）质量流量控制器（北京）：共4路； 1000SCCM、500SCCM、200SCCM、100SCCM：各1路 2） 手动控制浮子流量计：5L/min（由于清洗管路和稀释尾排） 3） 密封气柜：1台（用于安装气路、气瓶及相关部件）； 五、 抽气系统 1套 1） 复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒， 南光机器）； 2） 2XZ-8直联机械泵：1台（抽速8升/秒，南光机器）； 3） KF40电磁隔断放气阀：1台（上海阀门二厂）； 4） KF40电磁隔断阀：2台（上海阀门二厂）； 5） 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ； 6） CF150闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）； 六、电控系统 1套 1）电源机柜：1台； 2）总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源，有断电保护功能）； 3）水流报警系统：1套（对分子泵、真空室有断水报警切断相应电源功能）； 4) 样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）； 5) 加热烘烤及照明电源：1套；（24V、250W） 6) 宽量程数显真空计（成都整华）：1套；热偶规：1套（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）； 电离规：1套（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）； 7) 四路质量流量显示器：1套； 8) 分子泵控制电源：1套； 9) 薄膜压强真空计电源（上海）：1套； 薄膜压强规：1套（1Pa～1000Pa） 10) 500W射频电源：1套（最大使用200W）； -300V直流偏压电源：1套；