仪器名称: 溅射镀膜设备
| 仪器编号: 20043332 |
| 仪器型号: Aristo 250 |
| 购置日期: 2004-09-01 |
| 单价(万元): 1217.00 |
| 厂家: 德国Aristo |
| 技术指标: 2对靶材，可同一炉分别镀两种金属膜。可同时镀两片最大尺寸为64英寸的基片。极限真空由于5*10-7托。靶最大溅射功率24kw，烘烤温度最大250度 |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示技术研究中心1楼超净室 |
| 保管单位：电子科学与工程学院 |
| 管理负责人：张浩康 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 每周一至周五（节假日除外） |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 大面积镀制大部分金属材料薄膜用于电极、光学、表面改性、电子器件、防护防腐、光刻母版、装饰等方面，均匀镀膜 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |