仪器名称: 等离子增强化学气相沉积台
| 仪器编号: 11010111 |
| 仪器型号: PECVD |
| 购置日期: 2011-09-01 |
| 单价(万元): 40.00 |
| 厂家: 北京金盛微纳科技有限公司 |
| 技术指标: 极限真空度：≤8x10-5 Pa； 系统真空检漏漏率：≤7.0x10-7 Pa.l/S； 系统从大气开始抽气，50分钟可达到6.6x10-4 Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤6 Pa； 工作真空度：1～103 Pa； 系统包括反应室、加热台、气路系统、安装机台、真空抽气系统及电控系统等； |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示技术研究中心1楼超净室 |
| 保管单位：电子科学与工程学院 |
| 管理负责人：陈静 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: 有特殊要求及周末需要提前电话联系张青和老师13951817290。 |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 半导体器件,集成电路,微机械,微光学,光电子等领域的研究 |