仪器名称: AL膜刻蚀机
| 仪器编号: 20043342 |
| 仪器型号: Atzlinie Nr:2 |
| 购置日期: 2004-04-01 |
| 单价(万元): 223.30 |
| 厂家: 荷兰Atzlinie公司 |
| 技术指标: 1、无级可调蚀刻喷嘴的摇摆频率 2、可设置需要的蚀刻时间 3、蚀刻液喷淋压力连续可调 4、可连续蚀刻，基片最大尺寸1100*600mm（平板） |
| 仪器介绍: 对Al膜进行蚀刻。在更换蚀刻液的前提下，可对其他材料薄膜或厚膜材料进行连续蚀刻。 |
| 存放位置：显示技术研究中心2楼超净室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：张浩康 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 每周一至周五（节假日除外）。 |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 对Al膜进行蚀刻。在更换蚀刻液的前提下，可对其他材料薄膜或厚膜材料进行连续蚀刻。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |