仪器编号: 20043341 |
仪器型号: Atzlinie Nr:1 |
购置日期: 2004-09-01 |
单价(万元): 223.30 |
厂家: 荷兰Atzlinie公司 |
技术指标: 1、无级可调蚀刻喷嘴的摇摆频率 2、可设置需要的蚀刻时间 3、蚀刻液喷淋压力连续可调 4、可连续蚀刻,基片最大尺寸1100*600mm(平板) |
仪器介绍: 在配相应材料的蚀刻液或显影液,可对相应薄膜或厚膜此案料进行连续蚀刻或显影 |
存放位置:显示技术研究中心2楼超净室 |
保管单位:集成电路学院 |
管理负责人:张浩康 |
共享: 预约仪器 |
预约须知: 每周一至周五(节假日除外)。 |
收费参考标准: |
主要功能: 在配相应材料的蚀刻液或显影液,可对相应薄膜或厚膜此案料进行连续蚀刻或显影 |
仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |