仪器名称: PDP电极修补仪
| 仪器编号: 20061096 |
| 仪器型号: HPS306NS/C5E |
| 购置日期: 2006-06-08 |
| 单价(万元): 212.60 |
| 厂家: 日本株式会社HYPER PHOTON SYSTEMS |
| 技术指标: 在Glass基板上的Ag膜,ITO膜,Al膜,Cr膜（ITO膜,Al膜仅是Short Repair）上修补；可以通过修正液的吐出、干燥・固化进行修正；加工形状为Short Repair角型（Size可变式）、线型或者是圆形（Size可变）；最小加工Size：Short Repair最小５×５μｍ以下（使用20×Lens时）、Open Repair线宽５０μｍ以下； |
| 仪器介绍: |
| 存放位置：显示技术研究中心2楼超净室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：吴忠 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 周一至周五上午9:00至下午5:00 显示中心学生预约后，请电话通知杨晓伟老师批13805181269 |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 电级修补机要求能够修补最大50inch的基板，能够在Glass基板上的Ag膜,ITO膜,Al膜,Cr膜（ITO膜,Al膜仅是Short Repair）上修补；可以通过修正液的吐出、干燥・固化进行修正；加工形状为Short Repair角型（Size可变式）、线型或者是圆形（Size可变）；最小加工Size：Short Repair最小５×５μｍ以下（使用20×Lens时）、Open Repair线宽５０μｍ以下；最大加工Size：Short Repair根据试料的加工所需要的Energy的变化Open Repair圆形加工时１００μｍφ以上；Open Repair用材料Ａｕ系列、Ａｇ系列等； |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |