仪器名称: 镀膜机（大面积电子束蒸发台）
| 仪器编号: 20050119 |
| 仪器型号: 22S1250-1/G |
| 购置日期: 2014-09-03 |
| 单价(万元): 50.00 |
| 厂家: 四川国投南光有限公司 |
| 技术指标: 低温泵极限真空8X10-5Pa； 50分钟冷态下，工作真空度1X10-3Pa； 50分钟300度烘烤温度，工作真空度6X10-4Pa。 真空腔体直径1.25m。 |
| 仪器介绍: MgO蒸镀、介质薄膜、金属薄膜等 |
| 存放位置：显示中心1楼超净室 |
| 保管单位：集成电路学院 |
| 管理负责人：张浩康 |
| 共享: 不可用 |
| 预约须知: |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 1 |