仪器编号: 20014650 |
仪器型号: 22S1250-1/G |
购置日期: 2001-01-12 |
单价(万元): 52.15 |
厂家: 四川国投南光有限公司 |
技术指标: 低温泵极限真空8X10-5Pa; 50分钟冷态下,工作真空度1X10-3Pa; 50分钟300度烘烤温度,工作真空度6X10-4Pa。 真空腔体直径1.25m。 |
仪器介绍: MgO蒸镀、介质薄膜、金属薄膜等 |
存放位置:显示中心1楼超净室 |
保管单位:集成电路学院 |
管理负责人:张浩康 |
共享: 预约仪器 |
预约须知: |
收费参考标准: |
主要功能: 镀膜 |
仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |