东南大学贵重精密仪器共享系统

仪器编号: 20096167

仪器型号: 无

购置日期: 2009-03-01

单价(万元): 47.80

厂家:

技术指标:

极限压力：6.610-5Pa，恢复真空时间：40分钟可达6.610-4Pa，水冷靶台：靶材尺寸7070mm，引出栅直径：ϕ30mm，离子束能量：0.4~2.0Kev，离子流密度：1~5mA/cm2，最大束流：60mA，工作真空度：210-2 Pa~210-6 Pa

仪器介绍:

存放位置：显示技术研究中心西2楼

保管单位：电子科学与工程学院

管理负责人：杨晓伟

共享: 不可用

预约须知:

收费参考标准:

主要功能:

系统为高真空多功能离子束沉积系统，可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化合物、半导体、介质复合膜等。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。